以無生命微粒為控制的對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。電子工廠潔凈廠房的設計、建造必須適應電子行業快速發展的需要。從潔凈廠房的規劃開始,對于電子工廠潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性,以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。同時考慮系統的節能運行。

GB50472-2013潔凈廠房設計規范

GB50472-2008-電子工業潔凈廠房設計規范

■ 服務領域：精密機械制造、汽車零部件生產、電訊設備制造、光學儀器儀表生產等。

■ 重點注意事項：

1、人流

1-1、人員凈化：

1-2、潔凈室入口宜設空氣吹淋室。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室；

1-3、單人空氣吹淋室，應按最大班人數30人設一臺。潔凈室人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設單向旁通門；

1-4、空氣吹淋室的進、出門不得同時開啟，應采取連鎖控制措施；

1-5、空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室，宜設氣閘室。

2、物流

2-1、潔凈室內的設備和物料出入口，應獨立設置，并應根據設備和物料的特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應的物凈設施。

2-2、物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。

3、靜壓差

3-1、不同等級的潔凈室之間的靜壓差應大于等于5Pa；

3-2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應大于5Pa；

3-3、潔凈室與室外的靜壓差應大于10Pa。